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电子气体是哪些气体 什么是电子特种气体?

2022-06-13 13:42:07    来源:智东西

气体工业名词,半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。

近日,俄罗斯工业和贸易部宣布,将在 2022 年年底前限制氖气、氪气、氙 (xiān) 气等稀有气体的出口,这些气体的出口必须获得俄罗斯政府许可。据俄媒报道,俄罗斯或对“不友好”的国家发起氖气制裁。

俄乌战争爆发至今,氖气、氪气、氙气等稀有气体价格均大幅上涨,高纯氖气更是上涨了十倍有余。本周一,A 股特种气体概念股普遍上涨,其中华特气体涨幅近 15%,昊华科技、和远气体、金宏气体等特种气体供应商股价均有上涨。

关键词: 半导体工业 电子气体 电子特种气体 半导体特殊材料气体

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